该装置的工艺流程为：预处理—吸附浓缩—脱附—催化燃烧—催化燃烧—催化燃烧—催化燃烧。在催化净化器中设置了加热室，启动加热装置，进入内部循环。当热气源达到有机物90-110度时，有机物就会从活性炭中挥发出来，进入催化室进行催化分解，形成水、二氧化碳，并释放能量。当能量被再次进入吸附床脱附时，此时加热器完全停止工作，有机废气在催化燃烧室中保持自燃，尾气再生，循环使用，直至有机物完全从活性炭内部分离，到催化室分解。对活性碳进行再生，对有机物进行分解处理。废气处理装置可根据废气排放量、风速、废气浓度等灵活配置，废气处理和净化效率高，安装维修简便。

用活性碳催化燃烧设备脱附，启动催化燃烧装置预热室电源，预热空气，预加热过的气体通过混合箱内并进入吸附盒，加热箱内活性炭所吸附的溶剂即会挥发，通过风机将溶剂引入催化燃烧室燃烧，形成诸如CO2和H2O蒸气的热风；热风一部分返回到活性炭吸附盒中继续加热活性炭，另一部分热风则排空，活性炭在热空气内循环多次。